Komponen optik ing mesin litografi

Desain optik nduweni macem-macem aplikasi ing lapangan semikonduktor. Ing mesin fotolitografi, sistem optik tanggung jawab kanggo fokus sinar cahya sing dipancarake dening sumber cahya lan nggambarake menyang wafer silikon kanggo mbukak pola sirkuit. Mulane, desain lan optimalisasi komponen optik ing sistem fotolitografi minangka cara penting kanggo ningkatake kinerja mesin fotolitografi. Ing ngisor iki sawetara komponen optik sing digunakake ing mesin fotolitografi:

Tujuan proyeksi
01 Tujuan proyeksi minangka komponen optik kunci ing mesin litografi, biasane dumadi saka seri lensa kalebu lensa cembung, lensa cekung, lan prisma.
02 Fungsine kanggo nyilikake pola sirkuit ing topeng lan fokus ing wafer sing dilapisi fotoresist.
03 Akurasi lan kinerja obyektif proyeksi duwe pengaruh sing nemtokake ing resolusi lan kualitas gambar mesin litografi.

Pangilon
01 Pangilondigunakake kanggo ngganti arah cahya lan ngarahake menyang lokasi sing bener.
02 Ing mesin litografi EUV, pangilon utamane penting amarga cahya EUV gampang diserap dening bahan, mula pangilon kanthi reflektivitas dhuwur kudu digunakake.
03 Akurasi permukaan lan stabilitas reflektor uga duwe pengaruh gedhe ing kinerja mesin litografi.

Filter-filter
Filter 01 digunakake kanggo mbusak dawa gelombang cahya sing ora dikarepake, ningkatake akurasi lan kualitas proses fotolitografi.
02 Kanthi milih panyaring sing cocog, bisa dipesthekake yen mung cahya saka dawa gelombang tartamtu sing mlebu ing mesin litografi, saengga bisa nambah akurasi lan stabilitas proses litografi.

Prisma lan komponen liyane
Kajaba iku, mesin litografi uga bisa nggunakake komponen optik tambahan liyane, kayata prisma, polarizer, lan sapiturute, kanggo nyukupi syarat litografi tartamtu. Pemilihan, desain lan pabrik komponen optik kasebut kudu ngetutake standar lan syarat teknis sing cocog kanggo njamin presisi lan efisiensi mesin litografi sing dhuwur.

Ringkesan, aplikasi komponen optik ing bidang mesin litografi nduweni tujuan kanggo ningkatake kinerja lan efisiensi produksi mesin litografi, saéngga ndhukung pangembangan industri manufaktur mikroelektronik. Kanthi pangembangan teknologi litografi sing terus-terusan, optimasi lan inovasi komponen optik uga bakal nyedhiyakake potensial luwih gedhe kanggo nggawe chip generasi sabanjure.

Kanggo luwih wawasan lan saran pakar, bukak situs web kita inghttps://www.jiujonoptics.com/kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan produk lan solusi kita.